inSync映芯谐振由国内外经验丰富的MEMS科研、产品化和工程化团队组成,提供业界领先的技术指导和方案咨询服务,详情欢迎来电来函垂询交流。
针对HUD、ARVR等激光投影显示的应用领域,MEMS光机扫描方案(LBS:Laser Beam Scanning)作为其中具备相当优势的技术方案,凭借其分辨率高、尺寸小、功耗低、可靠性高而被越来越多的应用,市场需求不断增长。
然而当前主要MEMS扫描器驱动技术的还存在如下不足:
MEMS镜面孔径小不满足laser beam的光学孔径尺寸要求;静电驱动MEMS方案在ARVR眼镜应用中存在高电压的安全隐患,而电磁驱动MEMS方案则存在体积大,装配复杂体积高功耗,发热的问题;另外,传统外置压电陶瓷驱动MEMS的方案由于外置压电陶块孔隙率高,而导致单位体积输出力小,体积大,并且装配复杂,产能低成本高;
inSync采用PZT定向晶体集成驱动MEMS的方案,利用定向晶体压电系数高, 输出力大的优点实现了支持大孔径微镜驱动的能力,另外薄膜工艺致密, 击穿电场高, 单位体积输出力大器件小巧;压电薄膜驱动电压低(<30V),其静态电流为零,功耗低;可参照如下参数对比表:
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