科研研究应用

       MEMS产品及制造工艺的多样性，要求研究人员拥有多年基于实践的专业知识和诀窍积累。相对于先进的集成电路制造工艺（摩尔定律），MEMS制造工艺不单纯追求线宽而注重特色化（超越摩尔定律），利用微纳结构或/和敏感材料实现多种传感功能，工艺节点通常从μm、500nm到110nm。

       MEMS产品种类繁多，如惯性传感器、压力传感器、MEMS麦克风、射频滤波器、MEMS振荡器、光学MEMS、生物MEMS等。品种的多样性，决定了MEMS制造工艺的多样性。以衬底材料分类，MEMS制造工艺主要包括硅基和非硅基两大类。硅基MEMS制造工艺借鉴并发展半导体工艺，主要包括体微加工、表面微加工和CMOS MEMS等技术，具有批量化、高集成度、低成本等优点；非硅基MEMS制造工艺涉及聚合物、玻璃、金属等材料，主要包括压印、注塑、精密机械加工等技术。

       inSync映芯面向MEMS和传感器相关科研单位的技术人员和项目应用、或半导体专业的高校学生和老师提供相关的项目合作、技术交流以及相关产品定制等。